In november 2013 werd TSMC de eerste gieterij die begon met de 16nm Fin Field Effect Transistor (FinFET) risicoproductie. Daarnaast werd TSMC de eerste foundry die de eerste 16nm FinFET volledig functionele netwerkprocessor van de industrie produceerde voor zijn klant.
Na het succes van zijn 16nm FinFET-proces introduceerde TSMC het 16nm FinFET Plus (16FF+)-proces. 16FF+ kwam snel in volumeproductie in juli 2015, dankzij zijn snelle yield ramp en prestatieverbeteringen.
Tussen begon de 16FF+-technologie in 2017 met de productie voor klanttoepassingen in de auto-industrie.
TSMC introduceerde ook een meer kosteneffectieve 16nm FinFET Compact Technology (16FFC), die in het tweede kwartaal van 2016 in productie ging. Dit proces maximaliseert de schaling van de stervenkosten door tegelijkertijd optische krimp en procesvereenvoudiging te integreren. Bovendien drijft 12nm FinFET Compact Technology (12FFC) de poortdichtheid op tot het maximum, waarvoor de productie in 2017 is gestart.
TSMC’s 16/12nm biedt de beste prestaties onder het 16/14nm-aanbod van de industrie. Vergeleken met TSMC’s 20nm SoC-proces is 16/12nm 50% sneller en verbruikt het 60% minder stroom bij dezelfde snelheid. Het biedt superieure prestaties en een lager stroomverbruik voor de volgende generatie high-end mobiele computers, netwerkcommunicatie, consumentenelektronica en toepassingen in de auto-industrie.